高分辨率掃描電鏡是利用極細(xì)的電子束在樣品表面進(jìn)行掃描，激發(fā)出各種信號(hào)，通過(guò)這些信號(hào)來(lái)獲得材料表面形貌、組成及其他性質(zhì)的信息的一種顯微鏡。其主要由以下部件組成：
1、電子槍?zhuān)弘娮訕屖钱a(chǎn)生電子的源，通常采用熱發(fā)射或場(chǎng)發(fā)射方式工作。在高分辨率掃描電鏡中，場(chǎng)發(fā)射電子槍因其能夠產(chǎn)生高亮度和高相干性的電子束而更常被使用。
2、電磁透鏡系統(tǒng)：包括會(huì)聚透鏡、物鏡和掃描線(xiàn)圈。會(huì)聚透鏡用于聚焦電子束至微小直徑，物鏡則進(jìn)一步將電子束聚焦到樣品上，而掃描線(xiàn)圈控制電子束在樣品表面的掃描路徑。
3、樣品室：樣品室內(nèi)部可以容納樣品并進(jìn)行精確的位置控制，同時(shí)保持高真空環(huán)境，以減少空氣分子對(duì)電子束的散射和對(duì)樣品的污染。
4、真空系統(tǒng)：為了確保電子在傳輸過(guò)程中不受空氣分子影響，并且保護(hù)電子源和探測(cè)器等敏感組件，需要維持高真空狀態(tài)。
5、二次電子探測(cè)器：當(dāng)電子束照射到樣品上時(shí)，會(huì)產(chǎn)生二次電子，這些電子攜帶著樣品表面的形貌信息。通過(guò)收集并分析這些二次電子信號(hào)，可以獲得樣品的表面圖像。
6、背散射電子探測(cè)器：背散射電子是入射電子與樣品原子核相互作用后反射回來(lái)的電子。這些電子的信號(hào)可以用來(lái)分析樣品的成分信息。
7、樣品制備設(shè)備：根據(jù)所研究的樣品類(lèi)型，可能需要特殊的制備方法，如離子減薄、斷裂、切割等，以保證樣品能夠在電子顯微鏡下得到清晰的成像。
其設(shè)計(jì)和性能可能會(huì)因不同的制造商和型號(hào)而異，但上述部件是構(gòu)成大多數(shù)高分辨率掃描電鏡的基本組成部分。
